【摘 要】
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《薄膜物理与技术》是微电子、光学工程、应用物理学等相关专业本科生重要的专业基础课,其教学目的是使学生掌握薄膜制备技术、薄膜形成与生长、薄膜性能表征、薄膜的性质和
【机 构】
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山东大学（威海）空间科学与物理学院
【基金项目】
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山东大学(威海)2018年度校级教改重点项目(项目编号:A201703),山东大学(威海)2018年度校级教改一般项目(项目编号:B201715).
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《薄膜物理与技术》是微电子、光学工程、应用物理学等相关专业本科生重要的专业基础课,其教学目的是使学生掌握薄膜制备技术、薄膜形成与生长、薄膜性能表征、薄膜的性质和应用等薄膜材料与薄膜技术领域的基本知识。针对《薄膜物理与技术》的内容与特点,结合自身教学体会,从完善教学内容、改进教学方法和教学手段等方面进行课程的改革与探索,切实提高教学质量。
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