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分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段
分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sometimestry
【摘 要】
:
国内对分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究,以及对分子纳米层性能测试的仪器和方法比较欠缺。因此,本文介绍了表征有机分子纳米层作为铜扩散阻挡层的测试方法,包括热性能测试,
【作 者】
:
王亚斌
刘忠
李武
董亚萍
黄玉东
【机 构】
:
中国科学院青海盐湖研究所,哈尔滨工业大学化工学院
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2016年9期
【关键词】
:
分子纳米层
扩散阻挡层
粘接层
铜固定化
molecular nanolayers
diffusion barriers
adhesion interfac
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国内对分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究,以及对分子纳米层性能测试的仪器和方法比较欠缺。因此,本文介绍了表征有机分子纳米层作为铜扩散阻挡层的测试方法,包括热性能测试,电学性能测试,粘接性能测试,形貌测试和分子模拟。重点介绍了粘接性能测试的方法和原理,并分析了由此技术带来的新研究方向。
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