缩短微机械圆盘谐振器缝隙的电极移动法

来源 :电子与信息学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bcde23141

【摘要】

：

针对现有微机械(Micromechanical,也称MEMS)圆盘谐振器串联动态电阻过大的问题,该文提出了电极移动法,将其它MEMS器件的可调性能引入MEMS圆盘谐振器,在现有最窄缝隙工艺条件下实现了电极-圆盘缝隙的进一步缩减,降低了串联动态电阻。该文给出了悬置电极的设计方法,推导了电极移动后有效缝隙宽度的表达式,提出了可防电极接触短路的微小圆孔状凹陷设计,并给出了加入凹陷后的有效缝隙宽度表达式。

【作者】

：

邓成鲍景富杜亦佳赵兴海

【机构】

：

电子科技大学电子工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所

【出处】

：

电子与信息学报

【发表日期】

：

2012年02期

【关键词】

：

微机电系统微机械圆盘谐振器电极-圆盘缝隙串联动态阻抗电极移动 Microelectromechanical systems Micromechanica

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