【摘 要】
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采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低,
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,中国科学院研究生院,
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采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低,最低激活温度为180℃。在经过激活后,实验装置远端的真空度与泵口真空度相同,因此压力分布呈直线型。
The DC magnetron reverse sputtering method is used to uniformly coat the inner surface of the stainless steel vacuum pipe with a layer of TiZrV film. The membrane has been activated after the suction effect, can make the vacuum pipe from the original system into a gas pipeline pump. The membrane activation temperature is very low, the minimum activation temperature is 180 ℃. After activation, the vacuum level at the far end of the lab was the same as the pump vacuum, so the pressure distribution was linear.
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