【摘 要】
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以单丁基三氯化锡、氟化铵、无水甲醇、超纯水为原料制备反应热喷涂液,采用高温喷雾裂解工艺在玻璃基底上制备氟掺杂氧化锡（FTO）透明导电薄膜,研究了氟掺杂浓度对所制备FTO透明
【机 构】
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景德镇陶瓷大学,国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心
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以单丁基三氯化锡、氟化铵、无水甲醇、超纯水为原料制备反应热喷涂液,采用高温喷雾裂解工艺在玻璃基底上制备氟掺杂氧化锡（FTO）透明导电薄膜,研究了氟掺杂浓度对所制备FTO透明导电薄膜光、电性能的影响.研究结果表明,制备透明导电薄膜的最佳工艺参数为：基底温度500 ℃、掺杂浓度24 atom%、锡前体浓度0.5 M、喷涂次数60次及醇水比2 ：1,对应的透明导电玻璃方块电阻Rsh=11.3 Ω/sqr,可见光区平均透光率Tave=77.80%,品质因数ФTC=7.2×10^-3/Ω,评估指标均接近商
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