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多晶硅复杂的生产工艺,极高的产品质量要求,生产成本的控制都需要更为先进的分析技术.在线气相色谱分析仪是一种高精度检测仪器,它以气体作为流动相(栽气),采用专门设计的先进处理技术,对样品进行在线分析.本文结合国电宁夏2500t/年多晶硅项目,在介绍色谱分析仪原理的基础上,着重阐述了在线色谱分析仪在多晶硅项目中的实际应用.