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本文论述了扫描电子束对YBa2Cu3O7-δ超导膜进行干法刻蚀的实验研究;试验了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步讨论了超导膜改性的机制。扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部改性为非超导膜,将为干法制备超导器件提供一个有效的方法。
电子束刻蚀超导膜的实验研究
【摘 要】
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本文论述了扫描电子束对YBa2Cu3O7-δ超导膜进行干法刻蚀的实验研究;试验了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步讨论了超导膜改性的机制。扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科技大学研究生院
【出 处】
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电子科学学刊
【发表日期】
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1995年05期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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