非球面光学零件研磨中安装倾斜误差的影响

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针对研磨中工件的安装倾斜误差,提出了导致工件面形误差的分析方法,建立新、原坐标系,应用坐标变换,推导出工件曲线上各点相对理想曲线对应点的误差模型。工件安装倾斜角度不同、形状及精度要求不同导致的面形误差不同,利用模型分析了这几种情况对面形误差的影响,工件面形误差随安装倾斜角度的增大而增大,当安装倾斜角度由0.1°~1°变化时,工件面形负误差由-0.0030mm增大到-0.0448mm,增加了一个数量级;工件面形误差沿着曲面中点向边缘逐渐增大;相同的安装倾斜角度对大陡度曲面的面形误差影响较
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