【摘 要】
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In this work, we have developed a new method for manipulating and transferring up to 5 mm × 10 mm epitax-ial oxide thin films. The method involves fixing a PET
【机 构】
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Department of Materials Science and Metallurgy, University of Cambridge, 27 Charles Babbage Road, Ca
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In this work, we have developed a new method for manipulating and transferring up to 5 mm × 10 mm epitax-ial oxide thin films. The method involves fixing a PET frame onto a PMMA attachment film, enabling transfer of epitaxial films lifted-off by wet chemical etching of a Sr3Al2O6 sacri-ficial layer. The crystallinity, surface morphology, continuity, and purity of the films are all preserved in the transfer process. We demonstrate the applicability of our method for three dif-ferent film compositions and structures of thickness ～ 100 nm. Furthermore, we show that by using epitaxial nanocomposite films, lift-off yield is improved by ～ 50％ compared to plain epitaxial films and we ascribe this effect to the higher frac-ture toughness of the composites. This work shows important steps towards large-scale perovskite thin-film-based electronic device applications.
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