【摘 要】
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采用偏压辅助增强热丝化学气相沉积法（Chemical vapor deposition，CVD），以WC-Co硬质合金为衬底，采用控制沉积参数和添加惰性气体Ar等CVD新工艺，制备性能优良的纳米金刚石薄膜。进一
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院,上海交通大学微纳米科学研究院,上海交友钻石涂层有限公司
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采用偏压辅助增强热丝化学气相沉积法（Chemical vapor deposition，CVD），以WC-Co硬质合金为衬底，采用控制沉积参数和添加惰性气体Ar等CVD新工艺，制备性能优良的纳米金刚石薄膜。进一步采用扫描电镜（Scanning electron microscopy,SEM）、原子力显微镜（Atomic force microscopy，AFM）、拉曼光谱（Raman spectroscopy）、X射线衍射（X-ray diffraction，XRD）和高分辨率透射电镜（High-reso
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