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对热蒸镀的不同厚度纯Fe膜进行硫化处理，制备了厚度在70～600nm范围内变化的FeS2薄膜，研究了薄膜厚度对FeS2薄膜组织结构和电学性能的影响。结果表明，虽然不同厚度的FeS2薄膜晶格点阵畸变度不同，但晶粒均较为细小。较厚的薄膜表面更为平整并且组织更为均匀。随薄膜厚度增加，载流子浓度下降而迁移率上升。当膜厚超过400nm后，载流子浓度上升而迁移率下降。在膜厚约为130nm时，电导率出现极大值。