【摘 要】
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详细分析了压电扫描器的机械特性，及其对扫描特性的影响，通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变，从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州310027
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详细分析了压电扫描器的机械特性，及其对扫描特性的影响，通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变，从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的扫描角度能达到３°以上，扫描频率为２０Ｈｚ以上，扫描线性度为 １％。
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