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铈基抛光粉因具有切削能力强，抛光时间短、抛光精度高、操作环境清洁、比其他抛光粉的使用效果佳等优点，被人们称为“抛光粉之王”。在铈基复合氧化物的抛光研究中主要通过掺杂其他氧化物从而提高抛光能力。由于硬度均匀，纯度高．抛出的表面无污染，高铈抛光粉（含氧化铈99％以上）常用于特种玻璃精密光学仪器、激光晶体和半导体元件等的抛光。在化学机械抛光（CMP）中，