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针对氧浓度信号存在非线性、随机性和易受干扰，难以建立准确测量模型的问题，提出一种RBF神经网络软测量技术应用于超声氧浓度计的方法，该装置测量氧气的温度和超声波在定长管道中氧气传播的时间作为RBF神经网络的输入量进行拟合，采用梯度下降法确定RBF基函数的中心及输出层权值，氧气浓度值作为网络输出量。试验结果表明：采用RBF神经网络曲面拟合所测得氧浓度测量值与顺磁式氧浓度分析仪测量结果绝对误差在1．5％以内，具有一定的工程实用性。