MOD法制备SrBi2Ta2O9铁电薄膜及其性能研究

来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leocaan
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在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上,用金属有机物分解法(MOD)制备了SrBi2Ta2O9(SBT)铁电薄膜.研究了SBT薄膜的晶体结构,表面形貌以及它的电学性能,结果表明SrBi2Ta2O9铁电薄膜具有良好的抗疲劳特性,在经过109次极化反转后其剩余极化强度Pr变化不大,约为3%,并且漏电流较低,在测量电压为1V时,漏电流密度为5.73×10-8A/cm2.
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