论文部分内容阅读
科技信息管理中的知识产权保护
【出 处】
:
中华医学科研管理杂志
【发表日期】
:
1998年11期
其他文献
本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及实现多种相干度的部分相干光照明等关键问题