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介绍了一种可用于振动测量的三维加速度计弹性体结构，其采用3个相互垂直的双平行应变梁组合的形式，每个平行梁敏感一个分量的加速度。经分析和试验结果表明：该加速度计具有灵敏度较高、交叉干扰小，完全满足预期设计要求。
一种三维加速度计弹性体的分析与设计
【摘 要】
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介绍了一种可用于振动测量的三维加速度计弹性体结构，其采用3个相互垂直的双平行应变梁组合的形式，每个平行梁敏感一个分量的加速度。经分析和试验结果表明：该加速度计具有灵敏
【机 构】
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西南科技大学制造科学与工程学院,西南科技大学信息工程学院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2006年2期
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