论文部分内容阅读
试样表面镀一薄层Ti,消除内耗测最过程中氧吸附的影响.在镀Ti的Ta—O试样中详细研究了Snoek—Koster弛豫.观察到了两个内耗峰(较低温度的SK1峰和较高温度的SK2峰).考查之退火温度和氧含量对内耗峰的形状和稳定性的影响.SK1峰和SK2峰的激活能分别为1.4和2.1eV.用Seeger的螺位错上的双弯结成核和迁移以及几何弯结的迁移理论解释了实验结果.通过理论和实验比较,得到的螺位错上双弯结形成能约为0.9eV,螺位错与氧原子的结合能约为0.3eV实验还发现,进一步冷加工对Snoek峰的影响在实