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期刊论文
单晶硅球密度的绝对测量
单晶硅球密度的绝对测量
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:titanium2002
【摘 要】
:
单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术。综述了单晶硅球密度测量的最新进展,包括硅球密度测量的技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等等
【作 者】
:
罗志勇
【机 构】
:
中国计量科学研究院
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
2012年5期
【关键词】
:
计量学
硅球密度
相移干涉法
阿伏加德罗常数
Metrology Density of silicon sphere Phase-shifting interf
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单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术。综述了单晶硅球密度测量的最新进展,包括硅球密度测量的技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等等,分析了硅球密度测量的主要难点和关键技术,预测了相关研究的技术前景及发展趋势。
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