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提出一种提出了利用平面正交光栅进行几何误差检测的方法.以CINCINNATI 750三坐标立式加工中心为对象,建立了包含21项几何误差的数控机床误差分离模型以分离出机床的单向误差.所提出的误差参数分离模型可以推广到多轴数控机床的误差分析上.测量实验表明该误差分离模型是可行的.该方法具有测量精度高,误差参数分离准确的特点.