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微机电系统是面向 2 1世纪的新科技。由于目前尚处于开创时期 ,人们对它还缺乏统一的全面认识。试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析。在此基础上 ,提出和论述了未来发展中的几个关键问题
关于微机电系统研究
【摘 要】
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微机电系统是面向 2 1世纪的新科技。由于目前尚处于开创时期 ,人们对它还缺乏统一的全面认识。试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析。在
【机 构】
：
清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2003年02期
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