极坐标激光直写技术制作微结构

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简述了极坐标激光直写技术原理,并利用该技术研究了在铬板、光刻胶版表面制作微结构的工艺,制作了光栅、非涅耳透镜、曲面衍射透镜、平面连续微结构衍射透镜掩模以及基于MEMS技术的微型太阳敏感器光学掩模。
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