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分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响。理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程 中的碰撞过程，并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析。F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与 的三体碰撞过程占主导地位，激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系。当充电电压为28.7 kV，在最优化工作气体分压 （F2:He:Kr:Ne = 0.315:5.985:19.5:305 kpa）下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ，全电效率为1.64%。