【摘 要】
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通过对MEMS系统级仿真方法的研究,讨论了运用键合图法进行MEMS系统级多能量域仿真的可行性,提出了一种采用键合图/模拟框图混合表示进行MEMS动特性仿真的方法,并在该方法的基
【机 构】
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西安交通大学机械工程学院CAD／CAM研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金，教育部科学技术基金
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通过对MEMS系统级仿真方法的研究,讨论了运用键合图法进行MEMS系统级多能量域仿真的可行性,提出了一种采用键合图/模拟框图混合表示进行MEMS动特性仿真的方法,并在该方法的基础上开发了一套基于功率键合图的MEMS系统级多能量域仿真软件平台xj_Bond.同时一个基于键合图多通口场与结型结构的微元件库(包括梁、质量块、连接点、静电叉指等微元件)也在该仿真平台上得以实现,从而更好的支持了MEMS'Top Down'设计流程,并为系统快速建模提供了方便.最后通过一个多能量域MEMS系统仿真实例
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