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本文基于光学三角测量原理设计了一种高精度、多功能的非接触激光扫描探头装置,对该装置的性能特点进行了系统地研究,并用所设计的探头装置对几种不同的漫射面进行了实际测量,给出了实验结果,实验表明该装置精度优于2μm。
非接触测量中激光扫描探头的研究
【摘 要】
：
本文基于光学三角测量原理设计了一种高精度、多功能的非接触激光扫描探头装置,对该装置的性能特点进行了系统地研究,并用所设计的探头装置对几种不同的漫射面进行了实际测量
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械研究所长春130022
【出 处】
：
光学精密工程
【发表日期】
：
1993年5期
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