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为了研究固液两相磨粒流对伺服阀阀芯喷嘴的研抛性能，从冲蚀磨损的角度对比分析了不同磨粒硬度下的磨粒流研抛效果。利用计算流体力学方法，求解分析了磨粒流研抛伺服阀阀芯喷嘴时流场中的冲蚀磨损特性，采用电子显微镜以及扫描电镜仪检测伺服阀阀芯喷嘴零件经磨粒流研抛前后的表面粗糙度和表面形貌。实验结果表明：采用碳化硅磨粒和白刚玉磨粒加工后的伺服阀阀芯喷嘴主干通道、交叉孔以及小孔区域的粗糙度分别由1.1 μm、0.823 μm、0.743 μm降低为0.735 μm、0.721 μm、0.571 μm和1 μm、0.747