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首先基于PEI基板磁控溅射ZnO薄膜,再在薄膜上的两端制备叉指电极,探讨了不同的叉指间距对这种柔性器件的影响。研究发现,当两个叉指式换能器(IDT)之间的距离增加时,谐振器的传输幅度会显著衰减。为了制造具有良好传输性能的器件,IDT之间的间距应小于声波波长的40倍。这些结果可以为柔性声波器件的发展提供参考。