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采用飞秒激光改性-化学腐蚀的方法，分别研究了3种典型玻璃的化学腐蚀性能，通过测试材料的微观结构，分析了不同材料的腐蚀速率与脉冲能量及腐蚀时间的关系，从材料组成、显微结构及化学键特征讨论了玻璃改性-腐蚀机理。结果表明，飞秒激光改性后的碲酸盐和PbO硅酸盐玻璃不具有选择性腐蚀特性，而石英玻璃的选择性腐蚀比高于40；飞秒激光改性玻璃的选择性腐蚀特性与材料结构有关，分子体积大、网络结构不紧密的材料不具有选择腐蚀特性。