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氮气流量对电弧离子镀TiN薄膜性能的影响
氮气流量对电弧离子镀TiN薄膜性能的影响
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yx10110605
【摘 要】
:
氮化钛是一种应用较广泛的硬质薄膜,其性能受许多因素的影响,本文只改变氮气流量,固定其它工艺参数,对镀覆的氮化钛薄膜性能进行了分析和研究,得出了获得较好氮化钛薄膜综合
【作 者】
:
李春明
史新伟
邱万奇
刘正义
【机 构】
:
华南理工大学
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2004年z1期
【关键词】
:
离子镀
氮化钛
氮气流量
薄膜
【基金项目】
:
广东省自然科学基金重点项目(116-B65130),广东省科技攻关计划项目(102-B26650)
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氮化钛是一种应用较广泛的硬质薄膜,其性能受许多因素的影响,本文只改变氮气流量,固定其它工艺参数,对镀覆的氮化钛薄膜性能进行了分析和研究,得出了获得较好氮化钛薄膜综合性能的氮气流量.
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