【摘 要】
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<正> 随着现代工业产品向高精度、高质量、微细化等方向发展,对制造环境提出了更高的要求。为了满足制造精度产品及某些特殊行业的需要,近年来,一种制造超精密产品的场所——
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<正> 随着现代工业产品向高精度、高质量、微细化等方向发展,对制造环境提出了更高的要求。为了满足制造精度产品及某些特殊行业的需要,近年来,一种制造超精密产品的场所——无尘室,在世界各国蓬勃发展起来。所谓无尘室,是指一种空气中的悬浮物质被控制在所规定的标准内的空间。其标准有3个条件;一是不能让尘埃侵入室内;二是要尽量抑制室内产生尘埃;三是要迅速将室内产生的尘埃放到室外。
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