【摘 要】
：
对于制造集成电路芯片的多片生产设备而言,圆片间均匀性是评价工艺优劣的重要指标,可以利用正交试验方法来优化均匀性工艺。使用装载容量为18个150mm圆片的AME8110干法蚀刻设
论文部分内容阅读
对于制造集成电路芯片的多片生产设备而言,圆片间均匀性是评价工艺优劣的重要指标,可以利用正交试验方法来优化均匀性工艺。使用装载容量为18个150mm圆片的AME8110干法蚀刻设备,利用正交试验方法进行干法蚀刻二氧化硅试验。通过直观分析,得到影响干法蚀刻均匀性的较优因素组合;通过方差分析,得到各因素对均匀性影响的显著性和可信度;通过工艺综合分析,得到各因素水平的选择原则和满足圆片间均匀性指标要求的优化工艺。按照优化工艺测试的圆片间蚀刻均匀性为3.93%。正交试验分析方法同样适用于其他多片生产设备和单片生产设备的工艺优化。
其他文献
2001年4月-2002年4月,笔者应用痰热清注射液治疗急性肺炎50例,并与西药舒派(化学名:头孢派酮钠舒巴坦钠)治疗的50例作对照,以评价其疗效和安全性,现报道如下.
加测陀螺边是井下导线控制网精度保障的有效措施,传统处理加测陀螺边导线控制网的方法是将陀螺观测量与导线测量观测量一起纳入平差模型,应用最小二乘原则求解模型参数。传统方法无法顾及受井下通视条件与作业环境限制引起的观测量中误差积累显著,观测向量与系数矩阵中都含有随机误差对模型参数求解的影响。应用总体最小二乘准则,建立井下导线控制网数据处理模型;基于拉格郎日函数,给出模型参数的迭代算法;针对观测向量与模型
随着中国经济的腾飞，交通工具的改变，车祸造成的骨折病人日趋增多，我科从2002年-2009年共收治骨科病人350多例，除150例为单纯骨折外，余200例均有不同程序并发症和复合伤。并发症中
为提升主被动多基地声呐浮标阵对潜艇目标定位的精度与稳定性,提出了对搭载卫星模块的数字浮标使用北斗差分定位法进行定位的方案,分析了产生误差的主要因素,构建了系统误差
目的痤疮好发于青春期,是一种以颜面、胸及背部见黑头或白头粉刺、丘疹、脓疱、结节、囊肿及疤痕为主要表现的损容性皮肤病。研究旨在观察仙方活命饮加减内服治疗痤疮的临床
【正】 由共青团上海市委等八单位联合举办的1982年上海市“红领巾读书奖章”活动于5月8日下午在市少年宫举行开幕式。参加这次读书活动的对象为小学、初中的在校学生和工读