八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控

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由中国科学院半导体研究所与北京特种气体研究所共同对电子工业常用的8种电子级气体中六大类28种杂质进行了全面分析研究和质量控制。本工作始于1980年,现已获得了国际上领先的一整套分析技术。 1.8种电子级气体:N_2、H_2、O_2、Ar、He、HCl、CO_2、NH_3中六大类分析技术水平如下: By the Chinese Academy of Sciences Institute of Semiconductor and Beijing Institute of Special Gas common electronic industry commonly used eight kinds of electronic gases in six categories of 28 kinds of impurities conducted a comprehensive analysis and quality control. This work began in 1980 and has now gained a world-leading suite of analytical techniques. 1.8 kinds of electronic grade gas: six levels of N_2, H_2, O_2, Ar, He, HCl, CO_2, NH_3 analytical techniques are as follows:
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