【摘 要】
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通过研究两管燃烧器在生长室内的燃烧特性,分析了燃烧器结构对燃烧特性的影响。结果表明:中心O2达到晶体熔帽上表面时,沿着熔帽表面向外流动,与晶体周围的H2发生反应,放出大
【基金项目】
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2017沈阳市双百工程(重大科技研发)项目(Y17-0-008).
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通过研究两管燃烧器在生长室内的燃烧特性,分析了燃烧器结构对燃烧特性的影响。结果表明:中心O2达到晶体熔帽上表面时,沿着熔帽表面向外流动,与晶体周围的H2发生反应,放出大量的热能,易使晶体熔帽边缘温度过高而引起溢流现象的发生;喷嘴中O2孔降低,不仅使晶体熔帽的边缘温度升高,而且大幅度增大了熔帽中心的压力,造成晶体熔帽产生较大的变形量,容易引起晶体在生长过程中发生溢流现象。
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