【摘 要】
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文章介绍了一个能量小于100ev～8.0kev范围连续可调、束流强度10μA左右的冷阴极双等离子原的调试及其结果。除具有双等离子源的共同点之外,还具有寿命长的特点。离子原头部的
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文章介绍了一个能量小于100ev～8.0kev范围连续可调、束流强度10μA左右的冷阴极双等离子原的调试及其结果。除具有双等离子源的共同点之外,还具有寿命长的特点。离子原头部的各电极之间的距离可以调节,为研究几何参数,磁场参数对离子源性能的影响提供了方便。
This paper introduces the commissioning and results of a cold cathode dual plasma source with continuously adjustable energy of less than 100ev ~ 8.0kev and beam current of about 10μA. In addition to having the common ground of dual plasma sources, it also has the characteristics of long life. The distance between the electrodes of the ion source head can be adjusted, which provides convenience for studying the influence of geometric parameters and magnetic field parameters on the performance of the ion source.
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