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介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。
X射线光学多层膜的研究
【摘 要】
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介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。
【机 构】
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大连铁道学院,116022,荷兰FOM原子、分子物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年2期
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