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利用扫描电子显微镜及其附带的X-射线能谱仪、对稀土锆合金显微成分组成相的种类及其成分相的定量分析方法进行了深入的研究。对成分相进行评价与表征的结果为稀土锆合金主要含有稀土相、富锆相、基体相和特殊成分相等4种成分相。成分相定量分析方法的研究则主要依据了正交设计试验方案，在正交试验所获得的SEM＋EDS最佳微区定量分析参数基础上，对稀土锆合金成分相的组成元素进行了精确定量分析，对合金化元素微观分布规律进行了探讨。