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随着制备应变SiGe 材料的技术更加先进,工艺手段更加成熟,以及对应变SiGe 材料的认识更加透彻,人们对应变SiGe 材料的研究更加重视,希望其为更高水平的电路发展奠定基础.同时应变SiGe 材料在军事领域有极大的应用前景和发展空间,这将会进一步促进我国国防事业的发展.
应变SiGe SOIp-MOSFET材料的特性及应用
【摘 要】
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随着制备应变SiGe 材料的技术更加先进,工艺手段更加成熟,以及对应变SiGe 材料的认识更加透彻,人们对应变SiGe 材料的研究更加重视,希望其为更高水平的电路发展奠定基础.同时
【机 构】
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佳木斯大学信息电子技术学院
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2017年16期
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