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金属多层膜具有化学、电子、磁学和力学等方面的许多优异性能,目前被广泛用于光学器件、磁记忆介质和作为互连体材料,尤其近年在微电子机械系统领域的应用引起了广泛注意.
Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究
【摘 要】
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金属多层膜具有化学、电子、磁学和力学等方面的许多优异性能,目前被广泛用于光学器件、磁记忆介质和作为互连体材料,尤其近年在微电子机械系统领域的应用引起了广泛注意.
【机 构】
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沈阳材料科学国家（联合）实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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