【摘 要】
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为了实现无线电通信系统小型化的需求，文章提出了一种基于MEMS加工工艺的六腔同轴腔体滤波器的设计方案。该设计使用ansoftHFSS完成滤波器模型建立，进一步利用ansoftdesigner与
【机 构】
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西安交通大学电信学院,长安大学信息工程学院
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为了实现无线电通信系统小型化的需求，文章提出了一种基于MEMS加工工艺的六腔同轴腔体滤波器的设计方案。该设计使用ansoftHFSS完成滤波器模型建立，进一步利用ansoftdesigner与ansoftHFSS联合仿真，优化并实现滤波器模型设计。结合MEMS加工工艺的特点，尽量简化同轴腔体滤波器结构，并采用方同轴线实现输入输出端口设计。
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