【摘 要】
：
采用由2．5％（体积分数，下同）硅溶胶磨料、1．5％H2O2、0．5％FA／O型螯合剂和1．0％表面活性剂组成的抛光液对铝栅表面进行化学机械平坦化处理。研究了抛光垫、抛光压力、流量、抛光头转速、抛光
【机 构】
：
河北工业大学电子信息工程学院,华北理工大学
论文部分内容阅读
采用由2．5％（体积分数，下同）硅溶胶磨料、1．5％H2O2、0．5％FA／O型螯合剂和1．0％表面活性剂组成的抛光液对铝栅表面进行化学机械平坦化处理。研究了抛光垫、抛光压力、流量、抛光头转速、抛光垫转速以及抛光后清洗对铝栅表面粗糙度的影响。采用POLITEXTM REG抛光垫，在抛光压力1．5psi，抛头转速60r／min，抛光盘转速65r／min，抛光液流量150mL／min的条件下，对铝栅抛光后用自主研发的清洗剂清洗，铝栅表面粗糙度最低（2．8nm），并且无划痕、腐蚀、颗粒残留等表面缺陷。
其他文献
介绍了基于单片机C8051F020的通用串口适配器的设计与实现方法。通过用C51语言对单片机进行编程，控制与RS-232（232电平）、RS-232（TTL电平）、422接口的数据通信；用C＋＋Builder作为开发
建筑CAD是建筑类专业学生的专业基础技能课程,根据高职院校课程培养目标,针对当前教学现状的不足,分析探讨了课程教学改革的若干问题,突出以培养学生实践技能为主的教学模式,提出了课程在教学内容、教学模式、教学方法等方面的改革措施。
简单介绍了电泵井系统的现状,针对本节能监控系统的总体要求和技术指标,给出了油田电泵井节能监控系统的设计方案.对提高采油厂的自动化管理与控制水平、经济效益、产品质量
介绍一种基于FT245AM和nRF401芯片的无线MODEM，采用了低发射功率、高接收灵敏度设计技术，将USB接口、MCU和无线数据传输相结合，进行硬件电路设计和软件设计。实际应用表明：该无线
介绍了DSP-FLASH在线编程(ISP)与引导系统的硬件构成,给出了创建可引导文件的步骤和实现FLASH存储器在线编程的算法;在AD公司Visual DSP++3.5集成开发环境下,通过JTAG对ADSP-
介绍了一种基于以太网的光无线通信系统。该系统以高性能的以太网收发芯片IP113为核心，配以必要的外围器件，结合所研制的调制驱动电路和接收解调电路，实现了以太网借助光波进行
为改善镍基高温合金Inconel718制造零部件的表面质量，降低其表面粗糙度，基于磁力研磨加工方法，选用雾化快凝法制备的Al2O3球形磁性磨料，对Inconel718合金样件进行光整加工。探究
宁波市设施农业虽然起步较晚,但发展速度却很快。现在,应用推广的设施农业装备除了各类大棚外,还有管理机、喷滴灌设备、植保机械等各类大棚管理及棚内作业设备。 截至2001年
麦汁制备是啤酒生产的重要环节.为保证啤酒发酵的顺利进行,通过糖化工序将麦芽中的非水溶性组分转化为水溶性物质,即将其转变为能被酵母利用的可发酵糖和营养物质.麦汁质量的
【正】 王和平,1975年毕业于贵州省安顺地区农校农业机械专业,同年分配到平坝县农机研究所。从那时起,一直从事农机技术推广工作,一干就是28年。县领导视他为好参谋,当地的农