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研究了ZnO-C体系化学气相法生长ZnO单晶的Zn、CO、02、CO2、ZnO气体热力学平衡过程，计算发现主要气相物种为Zn，CO0分析了Zn和CO在N2，Ar，He气体中的扩散系数，发现Ar气既可抑制Zn物质流传输，又可减缓Zn扩散系数随温度升高而递减的趋势，是较适宜的外加气体。建立了ZnO单晶气相生长一维传输模型，揭示了Zn的动力学输运过程，获取了三个温度梯度下（氩气背景压力分别为0atm、0．5atm、1atm）Zn的物质流密度，以及温度梯度、背景压力对最大生长速率的影响。