对Gray微束装置的定位辐射准确度进行了全面的实验研究.微束定位辐射的能力表现在辐射点的准确度高低和离子分布区域的大小二个方面.辐射点的准确度取决于样品架的回访精度和图像处理系统的样品识别准确度;离子的分布取决于瞄准器的结构.通过对3.5 MeV的3He2+离子辐射后CR39样品上留下束斑的大小和中心位置的分析,得到了有关Gray微束定位辐射能力的数据.在辐射点准确度方面,仅由样品架参与工作时,真实辐射点落在以预定辐射点为中心,以1.5和1.25 μm为半径的圆内的概率分别为99.1%和97.9%;如果样品架和图像处理系统共同作用,那么真实辐射点落在相应区域内的概率分别为98.4%和96.4%.在离子的分布上,大于99.5%的离子分布在以真实辐射点为中心、以7.5 μm为直径的圆内,其中的99.1%又集中在直径为5 μm的同心圆内.