面向代理的半导体生产线建模技术研究

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为了有效分析和评价基于多代理的半导体生产线调度与控制性能,提出了面向代理的有色赋时 Petri网的半导体生产线建模方法。将设备代理内部行为进行封装,建立了设备代理的有色赋时 Petri网模型。同时,将半导体生产线多代理模型按层次划分为设备代理层、设备组层和系统层,有效地降低了模型的复杂性,提高了模型的可重用性。建立了分布式半导体生产线仿真平台,以实现基于面向代理的着色赋时 Petri网的半导体生产线仿真定量分析与评价。以上海某半导体制造企业6英寸晶圆生产线为例,其仿真结果验证了建模与仿真的有效性。
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