【摘 要】
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以外框驱动内框检测（ISOD）的框架式振动陀螺为对象,采用CSMC 0.6μm标准CMOS工艺给出了驱动电路和检测电路的实现方式。仿真结果显示,同外加驱动方式相比,自激驱动方式能够让驱
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系
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以外框驱动内框检测（ISOD）的框架式振动陀螺为对象,采用CSMC 0.6μm标准CMOS工艺给出了驱动电路和检测电路的实现方式。仿真结果显示,同外加驱动方式相比,自激驱动方式能够让驱动电压工作于微机械陀螺的驱动谐振频率上,对温漂和时漂有很强的抑制作用,能够实现最大的检测分辨率,微机械陀螺性能显著提高。采用全差动工作方式相对于单端工作方式,可以有效的提高信噪比（SNR）,并可以抑制共模噪声的干扰,并降低对高频载波的依赖度。在大气环境下,微机械陀螺的响应度为10mV/deg,灵敏度为0.1°/S.
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