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SiN_x/SiO_xN_y叠层结构防潮能力的研究网络首发

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liuchunxi

【作 者】

：

许海飞 喻志农 程锦 栗旭阳 陈永华 李言 薛建设 

【出 处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2019年07期

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