【摘 要】
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研制了一台以NiosII嵌入式处理器为核心的非平衡磁控溅射（Unbalanced Magnetron Sputtering,简称UMS）高性能电源。采用片上可编程系统（System on a Programmable Chip,简称SOPC）
【基金项目】
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陕西省自然科学基金计划项目（2007E207）, 陕西省教育厅科研专项（08JK372）, 西安理工大学青年教师科学研究计划基金（105-210819）~~
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研制了一台以NiosII嵌入式处理器为核心的非平衡磁控溅射（Unbalanced Magnetron Sputtering,简称UMS）高性能电源。采用片上可编程系统（System on a Programmable Chip,简称SOPC）的解决方案,结合嵌入式系统的优势,加入智能化复合控制策略和高频DPWM多自由度调制方法,以满足等离子体负载特性及工艺需求。测试结果表明,该电源具备高稳流、高离子束电流多自由度输出特性以及优异的电弧管理能力,为UMS先进工艺的探索提供了良好的技术平台。
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