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讨论了主因素分析法以及神经网络法在等离予体刻蚀工艺中的应用。结果表明主元素分析法可以实现对数据的压缩,而神经网络算法则显示出比传统的统计过程控制算法更好的准确性。
等离子体刻蚀工艺控制模型分析
【摘 要】
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讨论了主因素分析法以及神经网络法在等离予体刻蚀工艺中的应用。结果表明主元素分析法可以实现对数据的压缩,而神经网络算法则显示出比传统的统计过程控制算法更好的准确性
【机 构】
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重庆邮电学院光电工程系,中科院微电子研究所,电子科技大学电子工程学院,电子科技大学管理学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年02期
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