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本文对高频可控硅器件的dv/dt,di/dt,toff等特性进行了理论计算并给出了实验结果,其理论值与实验值得到较好的吻合。本文介绍一种新型的水溶性光刻胶,实现了刻槽工艺,使器件组装可采用内压接螺栓型。
螺栓型内压接式高频可控硅研究
【摘 要】
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本文对高频可控硅器件的dv/dt,di/dt,toff等特性进行了理论计算并给出了实验结果,其理论值与实验值得到较好的吻合。本文介绍一种新型的水溶性光刻胶,实现了刻槽工艺,使器件
【机 构】
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成都科技大学应用物理系; 成都科技大学应用物理系;
【出 处】
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成都科技大学学报
【发表日期】
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2004年期
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