【摘 要】
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自从Clark和Lyons在1962年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相继问世.这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或
【机 构】
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北京大学微电子研究所,中国电子信息产业发展研究院,北京航空航天大学物理系
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自从Clark和Lyons在1962年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相继问世.这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能器转化为电信号.在众多的设计中,将活泼的生化敏感材料涂镀在硅器件表面是一个最有新意的设想.以往的硅生化传感器多设计为膜片式,器件的灵敏度受到限制.硅微机械悬臂梁是一种灵敏度极高的器件,近年来在传感器领域受到关注.文章总结了目前世界上硅基微悬臂梁生化传感器的最新发展动态.对几种硅悬臂梁的设计方法和工作原理进行了讨论,并给
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