【摘 要】
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一、Cameca IMS-300型离子分析器IMS-300型离子分析器(图1)为法国原子、电影、电子应用机械公司(Cameca)的产品。据报道,该公司自1968年生产出第一台离子分析器商品仪器以来
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一、Cameca IMS-300型离子分析器IMS-300型离子分析器(图1)为法国原子、电影、电子应用机械公司(Cameca)的产品。据报道,该公司自1968年生产出第一台离子分析器商品仪器以来,已生产了32台仪器。1.离子分析器的工作原理当物质受到具有一定能量的离子(或称一次离子)轰击时,就会从物质表面溅射出各种
I. Cameca IMS-300 Ion Analyzer The IMS-300 Ion Analyzer (Figure 1) is a product of the French Atomic, Motion Picture and Electronics Applications Cameca. According to reports, the company has produced 32 instruments since its first ion analyzer commercial instrument was produced in 1968. 1. The working principle of the ion analyzer When the material by a certain energy ion (or ion) bombardment, it will be sputtering from the surface of the material
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